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水滴信用 > 绍兴鑫兴纺织镭射科技有限公司 > 专利详情
   CN205590783U一种多用镀膜机

基本信息

申请公布号 CN205590783U 申请号 CN201620330902.6
分类号 C23C14/22(2006.01) 
公开(公告)号 CN205590783U 公开(公告)日 2016-09-21
发明名称 一种多用镀膜机
发明人 丁进金 申请人 绍兴鑫兴纺织镭射科技有限公司
申请日 2016-04-18 申请公布日 2016-09-21
代理机构 - 代理人 -
地址 312000浙江省绍兴市袍江工业区越英路绍兴鑫兴纺织镭射科技有限公司
摘要 本实用新型涉及一种多用镀膜机,具体而言,特别涉及一种集蒸发镀膜以及磁控镀膜于一体的多用镀膜机。其包括钟形罩体,所述钟形罩体上方设置真空罩顶端法兰,所述钟罩下部连接真空系统,所述钟罩内部设置有基片架、蒸发源以及第一挡板,所述基片架通过基片架旋转轮圈与传动杆相连,所述蒸发源设置于第一挡板下方,所述第一挡板通过挡板转动杆与所述钟罩底部相连,所述基片架上下分别安装有带烘烤装置的溅射基片架和蒸发基片架,所述溅射基片架上方设置有预溅射挡板,所述钟罩上部设置有靶体。

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