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CN114705798AGC-AED关于高纯磷烷ppb含量锗烷杂质分析检测技术及方法

基本信息

申请公布号	CN114705798A	申请号	2022101871678
分类号	G01N30/88(2006.01)I;G01N30/74(2006.01)I;
公开（公告）号	CN114705798A	公开（公告）日	2022-07-05
发明名称	GC-AED关于高纯磷烷ppb含量锗烷杂质分析检测技术及方法
发明人	朱颜;乔洋;陈化冰;王仕华;孙建;王陆平	申请人	江苏南大光电材料股份有限公司;全椒南大光电材料有限公司;苏州南大光电材料有限公司
申请日	2022-02-28	申请公布日	2022-07-05
代理机构	成都智涌知识产权代理事务所(普通合伙)	代理人	张洪
地址	江苏省苏州市工业园区平胜路67号
摘要	本发明属于高纯磷烷中杂质的分析检测领域，尤其是一种GC‑AED关于高纯磷烷ppb含量锗烷杂质分析检测技术及方法，包括以下步骤：S1、通过进样系统向气相色谱原子发射光谱检测仪器通入需要检测的高纯磷烷；S2、利用等离子体作激发光源，使进入气相色谱原子发射光谱检测仪器的高纯磷烷原子化；S3、然后原子被激发至激发态，再跃迁至基态，发射出原子光谱，本发明针对磷烷等剧毒气体中锗烷杂质及其它含碳类杂质均可进行分析检测，且针对锗烷杂质，检出限低至0.2ppb，同时，该检测系统对于高纯砷烷、高纯氦气及其它高纯电子气体亦可做到ppb级别杂质的准确检测。

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